一特定空間內之氣體去除，以減低氣體分子數目，造成某種程度之真空狀態之機件，統稱為真空幫浦。有的真空幫浦是將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力的外部而排出，諸如油旋轉幫浦、擴散幫浦或噴射幫浦之類的蒸氣噴射泵浦。
真空幫浦-發展史
真空幫浦技術是一項古老的技術，早在 1640 年 Galileo 即曾經利用活塞機構來抽真空。現今之真空幫浦則與舊有的幫浦在抽氣性能、功能設計及應用範圍上有著截然不同之處。最主要原因是因應高科技產業如半導體製造及光電產業等
真空幫浦-原理
真空幫浦(vacuumpump)以產生真空為目的的低壓發生器，氣體自動會流向壓力較低之處是一種自然法則。真空幫浦的使命就是在系統中連續維持低壓，使氣體相連的容器流動過來；依照自然法則，氣體是自然流過來，而不是勉強硬拉過來。
真空幫浦種類介紹
◆ 真空幫浦-排氣式
此類真空幫浦其作用為將低氣壓處的氣體排送到高氣壓的地方，如果只應用一個幫浦抽氣，只能將系統內得氣體直接排出到系統外面的大氣中，如果應用兩階段抽氣，亦即應用兩種不同的幫浦串聯抽真空，則氣體從系統內較低氣壓處被一幫浦送到較高氣壓處，然後再由另一幫浦抽送到大氣中，通常後者被稱為前段幫浦亦稱為粗略幫浦，前者有時被稱為高真空幫浦。
◆ 真空幫浦-儲氣式
此類幫浦其抽氣原理與排氣式完全不同，被抽的氣體被幫浦抽到其中，永久或暫時貯藏在幫浦中而不排出。通常被抽的氣體分子在幫浦的進口附近受高電壓離子化後，被幫浦中的一種特殊物質物理吸附或結合成化合物。也有靠低溫將此些氣體分子（通常為空氣），冷凍而儲存在幫浦內。儲氣式幫浦近年來發展迅速，幾乎所有高真空及超高真空均採用此類幫浦。
真空幫浦-用途
- 由於真空幫浦之性能隨操作條件有很大的差異，針對不同之操作壓力範圍必須使用不同種類之真空幫浦，真空幫浦對產業之重要性，是因為對任何製程機台、鍍膜設備或真空儀器而言，唯有靠真空幫浦來抽，才能以人為方式創造出一低壓、潔淨、無污染、低水氣之高品質。
- 真空環境，這個真空環境正是確保製程品質，達到設計目標之最重要條件。
資料來源：真空幫浦
